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对中系统

发布时间：2023-03-18 13:41:53 来源：文档文库

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号CN200810010216.0（22）申请日2008.01.25
（71）申请人沈阳芯源微电子设备有限公司

地址110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号

（10）申请公布号CN101494187A
（43）申请公布日2009.07.29
（72）发明人张怀东;郑春海
（74）专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人张志伟
（51）Int.CI
H01L21/68;
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

对中系统
（57）摘要

本发明涉及半导体晶片加工技术，具体地
说是一种对中系统，解决半导体加工过程中调整被加工件晶片的中心位置误差大的问题。该系统设有工作盘，工作盘上的晶片及上方的工业照相机，工业照相机连至中央控制器的输入端，中央控制器的输出端连接驱动工作盘运动的电机。应用工业照相机，对晶片等被加工件照相，通过对图像识别，计算出晶片圆心位置、晶片大小、切
边位置等信息。通过中央控制器计算处理以上信息控制电机，及丝杠，同步带等调整被加工件位置，使被加工件晶片等移动到中心的位置。通过选择高分辨率的工业照相机，精确图像识别，精密运动控制和传递系统，可以保证被加工件晶片等中心的精确定位。
法律状态
法律状态公告日2009-07-292009-09-232011-01-26
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书
对中系统的权利要求说明书内容是....请下载后查看

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/1f7d52f16beae009581b6bd97f1922791788be79.html