MOCVD主要厂家

AIXTRON和VEECO

德国AIXTRON公司(英国THOMAS SWAN公司已被其收购)，大约占60-70%的国际MOCVD市场份额。

美国VEECO公司（并购美国EMCORE公司），占30-40%。

其它MOCVD厂家主要包括日本的NIPPON Sanso和Nissin Electric等，其市场基本限于日本国内。如日本日亚公司和丰田合成等公司的GaN-MOCVD设备不在市场上销售，仅供自用；而日本SANSO公司生产的GaN-MOCVD设备性能优良，但仅限日本市场销售。从设备性能上来讲，日亚公司设备生产的材料质量和器件性能，要远优于AIXTRON和EMCORE的设备。本人没有用过日本的设备没有发言权，而THOMAS SWAN的设备占有量很小，不详细介绍了，主要比较VEECO和AIXTRON。

一、VEECO

1、VEECO采用了高速旋转，但是没有自转，所以有明显的within-wafer和ring-ring的均匀性问题，但是run-run 和ring内的均匀性极好，这就是为何其设备比较适合生产LED，因为LED有个binning的步骤，对于ring-ring的均匀性问题可以通过binning 解决，但是如果是生长DFB、VCSEL等外延结构相互关系紧密且互相影响程度达到可以造成器件整体功能丧失的情况，VEECO则力不从心。

2、另外VEECO设备除了年度维护外不开炉体，适合大规模生产，还可以2个托盘交替，只要在年度维护结束后，对炉体和托盘进行适合的覆盖性生长，1-2月内使设备稳定，就可以放心的使用，同时，在几个月的时间内还是有规律可以摸索。但是需要注意的是，托盘的更换还是会导致参数变化。

3、但是，VEECO设备的炉体比较大，虽然最近进行了缩小，但还是在气体用量上比较浪费，但是其不可以进一步减小，这和炉体设计及生长优化机理相关。

4、还有就是当使用VEECO生长一些有相互污染的材料，则有残留问题，而解决就只能拆炉子，这样就提高了维护成本，所以VEECO适合同一产品的反复生长。

二、AIXTRON

1、AIXTRON采用了低速旋转加自转，所以明显改善了同一炉内within-wafer的均匀性，如果是生长DFB、VCSEL等外延结构相互关系紧密的器件，AIXTRON就比较适合。

2、AIXTRON每次需要打开炉体，run-run的均匀性掌握就很关键，而且每次托盘的更换之间只有20次左右的生长，且各种条件均变化，需要每一炉均有一定的调整。这就是技术难点所在，但也正是每一次的调整使我们有了掌握工艺的主动权，所以可以生长更精密的结构。

3、AIXTRON需要不断地维护，每次更换托盘需要工艺调整，同时还经常会出现自转速度变化甚至停转，这需要注意。

4、AIXTRON采用中央喷嘴的方式提供源，这就必然产生因为设计而形成的源不均匀分布，需要注意和调整。但是我们也可以通过观察喷嘴和炉体的情况判断工艺的稳定性，这就是AIXTRON灵活性所在。

5、AIXTRON设备的炉体比较小，在气体用量上比较节省。 6、由于炉体的灵活性，对于生长一些有相互污染和残留效应的材料，也风险小一些，AIXTRON更可以生长多种产品，并尝试进行研发工作。

三、其他

1、在此，我不想比较2家的服务态度，其实服务态度的问题只有国内才发生，在国外不多见。这不应该成为选购设备的前提。

2、但是有一点是要注意的，VEECO的MOCVD不是其主营业务，它是综合设备商，这是他的缺点，优点是因为其是EMCORE转过来的，他们的人更有器件的实践经验，关系好的话可以得到很多好处。但是要注意你们的技术优点是否被EMCORE通过朋友学到。而AIXTRON的MOCVD是主营业务，比较重视，这是优点，但是其一直不是器件厂商，没有和器件很好结合的人才，这是缺点。大家自己去平衡。

3、还有，VEECO不会倒，美国一定会维持自己的MOCVD装备厂商，因为很多是军工相关的。

4、至于THOMAS SWAN，设备有其特点，用气量也小，其源的出发设计接近VEECO，但是更精密，而炉体的设计接近AIXTRON，但是没有自转。他适合很多研发和高端材料的生长，特别是高纯材料，比如PIN结构中的高纯度不参杂层，我曾经长到14次方的水平，非常的可靠，这个好像VEECO和AIXTRON现有大型均比不过，只有以前的水平式MOCVD可以相比。

5、各位在购买配件时，如果不是原厂购买，最好寻找那些他们以前的供货商，台湾有一些。如果从国内的厂商买，虽然可以拿到很好的价格，但是千万注意不要买到形似而神不似的配件，这样对工艺就有影响。配件材料的密度、致密度、导热、热膨胀系数、介电常数、表面粗糙度、配件材料的纯度等均十分重要，还有任何配件厂商的更改均需要器件可靠性测试的证明。 切记，MOCVD是艺术，艺术的功底不是一簇而就，也不是有个好师傅就可以的，还要有自身的资质和修养。

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