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晶圆对准方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201910585997.4 （22）申请日 2019.07.01
（71）申请人武汉新芯集成电路制造有限公司

地址 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

（10）申请公布号 CN110299318A
（43）申请公布日 2019.10.01
（72）发明人周云鹏
（74）专利代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙

代理人屈蘅
（51）Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
（54）发明名称

晶圆对准方法
（57）摘要

本发明提供一种晶圆对准方法，包括：提
供对准设备，对准设备至少包括两个对准单元，每个对准单元包括间隔设置且同步运动的低倍镜头组和高倍镜头组，低倍镜头组和高倍镜头组之间的距离为晶圆上的相邻的两个对准标记之间距离的整数倍；低倍镜头组搜寻至正对第一晶圆上的一对准标记，同时高倍镜头组与第一晶圆上的另一对准标记正对并拍摄其图片；低倍镜头组搜寻至正对第二晶圆上的一对准标记，同时高倍镜

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/f785e2a0ce7931b765ce0508763231126fdb77ff.html