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正在进行安全检测...

发布时间：2023-10-04 14:45:39 来源：文档文库

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（19）中华人民共和国国家知识产权局（12）发明专利申请（21）申请号CN02830017.3（22）申请日2002.12.10（71）申请人ETC外延技术中心有限公司地址意大利卡塔尼亚（10）申请公布号CN1708601A（43）申请公布日2005.12.14（72）发明人G·N·马卡利;O·科迪纳;G·瓦伦特;D·克里帕;F·普雷蒂（74）专利代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人范莉（51）Int.CIC23C16/46;C30B25/12;C30B25/10;C30B31/12;H05B6/02;F27B14/06;H01L21/00;权利要求说明书说明书幅图（54）发明名称感受器系统（57）摘要本发明涉及一种感受器系统，用于处理基
片和/或晶片的装置，该感受器系统提供有由至少两个壁界定的处理腔室(1，并有至少一个加热螺线管(9；该感受器系统包括至少一个感受器元件(2、3，该感受器元件由外表面界定，并由适于通过电磁感应加热的导电材料制成；感受器元件(2、3为空心的，且该感受器元件(2、3的外表面的第一部分适于作为处理腔室(1的壁，而该感受器元件(2、3的外表面的第二部分适于布置成靠近加热螺线管(9。法律状态法律状态公告日法律状态信息2005-12-14公开2006-02-08实质审查的生效2009-07-01授权2017-05-10专利申请权、专利权的转移法律状态公开实质审查的生效授权专利申请权、专利权的转移
权利要求说明书感受器系统的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书感受器系统的说明书内容是....请下载后查看

本文来源：https://www.2haoxitong.net/k/doc/5ac598cf03f69e3143323968011ca300a7c3f6d0.html